首次公开:世界最神秘的半导体生产设计基地,向我们打开了大门
英特尔把这些现场工程师比喻为“宇航员”,而楼上的工程师则是“休斯顿地面控制中心”。
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下一站,我们来到了光刻部门。
在车间现场,我们看到了应目前市面已知最先进的36nm极限分辨率的光刻机。 工程师 Batz Kleiz 告诉我,光刻部门主要采用的设备来自 ASML、东京电子等企业。每台机器的成本都高达数千万美元,而考虑到车间的面积就达到了4个橄榄球场……可想而知这座工厂有多值钱。
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一组流水线包括光刻、涂膜、显影等多种功能机器,晶圆在这些机器之间来回传递。大部分情况下机器之间可以直接在密闭接口完成交换,有时候则要用到前面提到的 FOUP 对晶圆进行“长距离转移”。
Kleiz 表示,经过多年的光刻生产流程优化,现在流水线的出片速度非常之快。尽管具体数字无法透露,整个 Fab 28 光刻工艺每分钟出片已经达到了“四位数”。
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英特尔还想演示一下,当机器出了故障到底该怎么办。
英特尔以色列有一个特殊人才计划“Ofek Darom”,不看教育背景和出身,只要好学、真诚、有驱动力,哪怕是农民也可以“转职”芯片工程师。但是这样也带来了一个问题,就是新手每次“出外勤”还要老师傅带新人,不仅麻烦,学习成本也高。
而在最近几年,英特尔在包括 Fab 28 在内的全球许多工厂里都开始用上了 AR 教学。新手工程师戴上 HoloLens 头显,可以直接在现场观看 AR 教程,里面会教你每种工具放在工具箱什么位置,某个螺丝应该拧多少圈,按钮先按哪个后按哪个等等。
这些 AR 教程和工具,工程师可以随时随地自己编写。英特尔表示自从采用了 AR 技术来辅助培训之后,员工上手的速度快了很多。目前仅在无尘车间里就有至少150名来自于“Ofek Darom”计划的工程师,只用三年时间就完成了训练,能够正常独立完成各项工作。
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因为机器实在太多了,长得又都差不多,工作人员发现在车间里特别容易迷路,而且有些维修工作非常紧急,精神高度集中,反而会找错机器,造成不必要的损失。
于是,除了给车间里的每一条路,每一个路口,每一台机器都进行了编号之外,英特尔还给机器加上了【颜色+动物】的视觉标识,比如“蓝蝎子”、“红犀牛”、“绿斑马”,这样一来有效降低了工程师在紧张工作的时候出错的概率。
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整个参观的无尘车间部分,到这里告一段落。再给大家放几张车间里的照片吧,毕竟一般人很难进去:
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英特尔对降低缺陷提高质量的追求,可以被下面这句话所体现:Every die wants to live——每一枚晶粒都想活下来。
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下图可以注意地面的绿色带孔地板,整个无尘车间包括配套区域采用的都是加压单向空气流通:清洁无尘的空气从上方喷出,从地板吸走,越接近无尘车间气压越大。
这个系统也是一年365天24小时运转,每20秒就可以把整个车间的空气全都置换一遍。
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走出了无尘车间,我们把进来时的流程倒着走一遍,脱掉一身的防护装备。这一趟不是很热,但是有点憋,主要是防护服、口罩、眼镜、乳胶手套都不透气,因为仪器工作要求车间里空调又不能开太冷(实感28 C)。
所以终于出来脱掉兔子服的时候,整个人呼吸都更顺畅了——这也让我由衷钦佩那些一整年的每天大部分时候都要呆在车间里的英特尔员工……
值得注意的是,FOUP 不仅可以在无尘和有尘区域中间运行,英特尔还正在 Fab 28 旁边旁边修建 Fab 38,届时轨道将会把两座工厂串在一起,FOUP 和机器人都可以来回穿行。
无尘车间视频:
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视频来源:硅星人 via 英特尔